三氟化氮 Nitrogen trifluoride
結構式
| 物競編號 | 00BE |
|---|---|
| 分子式 | F3N |
| 分子量 | 71 |
| 標簽 | 電子級三氟化氮, Nitrogen trifluoride，Electronic grade, 蝕刻氣 |
編號系統
CAS號：7783-54-2
MDL號：暫無
EINECS號：232-007-1
RTECS號：暫無
BRN號：暫無
PubChem號：24862062
物性數據
1.性狀：無色、帶霉味的氣體。[1]
2.熔點（oC）：-208.5[2]
3.沸點（oC）：-129[3]
4.相對密度（水=1）：1.89（沸點，液體）[4]
5.相對蒸氣密度（空氣=1）：2.45[5]
6.臨界溫度（oC）：-39.3[6]
7.臨界壓力（MPa）：4.53[7]
8.溶解性：不溶于水。[8]
毒理學數據
1.急性毒性[9] LC50：19000mg/m3（大鼠吸入，1h）；5600mg/m3（小鼠吸入，4h）
2.刺激性 暫無資料
3.亞急性與慢性毒性[10] 大鼠于308mg/m3濃度下，每天吸入7h，共4~5個月，見肝、腎有輕至中度病理改變，脾腫大，尿氟增高。
生態學數據
1.生態毒性 暫無資料
2.生物降解性 暫無資料
3.非生物降解性 暫無資料
4.其他有害作用[11] 室溫氣體，會造成全球氣候變暖。
分子結構數據
1、摩爾折射率：6.26
2、摩爾體積（cm3/mol）：52.1
3、等張比容（90.2K）：86.3
4、表面張力（dyne/cm）：7.5
5、極化率（10-24cm3）：2.48
計算化學數據
1.疏水參數計算參考值（XlogP）:1.9
2.氫鍵供體數量:0
3.氫鍵受體數量:4
4.可旋轉化學鍵數量:0
5.互變異構體數量:無
6.拓撲分子極性表面積3.2
7.重原子數量:4
8.表面電荷:0
9.復雜度:8
10.同位素原子數量:0
11.確定原子立構中心數量:0
12.不確定原子立構中心數量:0
13.確定化學鍵立構中心數量:0
14.不確定化學鍵立構中心數量:0
15.共價鍵單元數量:1
性質與穩定性
1.高純NF3幾乎沒有氣味，但商業用NF3由于有痕量活性氟，因而具有刺激性氣味。臨界溫度氣體。NF3是一種熱力學穩定的氧化劑，大約在350℃時，它的反應活性相當于氧，在高溫下，NF3能與許多元素反應生成N2F4和相應的氟化物。三氟化氮是一種毒物，其主要危害是由于呼吸道吸入而中毒。
2.穩定性[12] 穩定
3.禁配物[13] 還原劑、易燃或可燃物
4.避免接觸的條件[14] 受熱
5.聚合危害[15] 不聚合
貯存方法
1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對氣瓶每兩年要檢驗一次。按有毒高壓液化氣體規定運輸，國外規定可以用汽車、火車運輸，不能用飛機運輸。氣瓶充裝系數不大于0.01。
2.儲存注意事項[16] 儲存于陰涼、通風的有毒氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、還原劑、食用化學品分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。
合成方法
在熔融氟銨酸存在下，采用氨直接氟化工藝，其反應式為：
反應產物經過除霧器、淋洗器、分子篩吸附器，以及真空蒸餾，可分別除去各種雜質，最后用低溫法收集得到NF3。
用途
1.NF3是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。氫與NF3反應，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學激光器方面大量應用的原理。在高溫下，NF3與有機化合物反應常伴有爆炸性，操作時應十分謹慎。
2.用作高能燃料。[17]
安全信息
危險運輸編碼：暫無
危險品標志：
氧化劑
文獻
[1~17]參考書：危險化學品安全技術全書.第一卷/張海峰主編.—2版.北京；化學工業出版社，2007.6 ISBN 978-7-122-00165-8
備注
暫無
表征圖譜
暫無圖譜
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