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    物競編號 15CD
    分子式 Si2H6
    分子量 62.22
    標(biāo)簽 Disilicoethane, Disilicon hexahydride, Silicoethane, disilicane, 電子用特種氣體

    編號系統(tǒng)

    CAS號:1590-87-0

    MDL號:MFCD00054678

    EINECS號:216-466-5

    RTECS號:暫無

    BRN號:暫無

    PubChem號:24869889

    物性數(shù)據(jù)

    1.       性狀:無色透明液體

    2.       密度(g/mL,15℃):0.686

    3.       相對蒸汽密度(g/mL,空氣=1):未確定

    4.       熔點(diǎn)(oC):-132.5

    5.       沸點(diǎn)(oC,常壓):-14.5

    6.       折射率:未確定

    7.       閃點(diǎn)(oC):未確定

    8.       自燃點(diǎn)或引燃溫度(oC):未確定

    9.       比旋光度(o): 未確定

    10.    蒸氣壓(kPa,25oC):未確定

    11.    飽和蒸氣壓(kPa,60oC):未確定

    12.    燃燒熱(KJ/mol):未確定

    13.    臨界溫度(oC):未確定

    14.    臨界壓力(KPa):未確定

    15.    油水(辛醇/水)分配系數(shù)的對數(shù)值:未確定

    16.    爆炸上限(%,V/V):未確定

    17.    爆炸下限(%,V/V):未確定

    18.    溶解性:可與氫、氬、氮和氦以任意比例混合。

    毒理學(xué)數(shù)據(jù)

    微毒。

    生態(tài)學(xué)數(shù)據(jù)

    通常對水是不危害的,若無政府許可,勿將材料排入周圍環(huán)境

    分子結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)

    暫無

    計算化學(xué)數(shù)據(jù)

    1.疏水參數(shù)計算參考值(XlogP):無

    2.氫鍵供體數(shù)量:0

    3.氫鍵受體數(shù)量:0

    4.可旋轉(zhuǎn)化學(xué)鍵數(shù)量:0

    5.互變異構(gòu)體數(shù)量:無

    6.拓?fù)浞肿訕O性表面積0

    7.重原子數(shù)量:2

    8.表面電荷:0

    9.復(fù)雜度:0

    10.同位素原子數(shù)量:0

    11.確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0

    12.不確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0

    13.確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0

    14.不確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0

    15.共價鍵單元數(shù)量:1

    性質(zhì)與穩(wěn)定性

    在常溫常壓下為無色透明氣體,具有刺激性氣味。d4-250.686,熔點(diǎn)-132.5℃,沸點(diǎn)-14.5℃,它具有與硅烷類似的化學(xué)性質(zhì),比硅烷不穩(wěn)定,反應(yīng)性比硅烷更強(qiáng)。在光照或室溫緩慢分解成硅烷和氫,在光照下也可分解。在空氣中自燃,濃度在0.2%以上時燃燒會發(fā)出火焰,濃度低于0.2%時,則發(fā)生氧化反應(yīng)生成白色的二氧化硅。與鹵素氣體發(fā)生爆炸性地反應(yīng),但如果是在低溫,則適度地進(jìn)行鹵化。與六氟化硫接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應(yīng)。乙硅烷比硅烷更不穩(wěn)定,應(yīng)更加小心。

     

     

    貯存方法

    參照140206電子級硅烷。

    合成方法

    1.采用硅烷原料氣,經(jīng)流量計進(jìn)入放電管,在適當(dāng)溫度、頻率和電壓下,得到含乙硅烷、甲烷和氫的混合氣,將混合氣在不同的冷卻條件下進(jìn)行吸收,除掉雜質(zhì),可得高純乙硅烷。

    2.甲硅烷經(jīng)輝光放電后聚合生成高級硅烷,用液氮冷卻回收,采用低溫精餾法除去氫和甲硅烷即可。

    3.采用硅烷原料氣,經(jīng)質(zhì)量流量計進(jìn)入放電管,在適當(dāng)溫度、頻率和電壓下,生成含一定量乙硅烷、甲烷和氫的混合氣,混合氣在不同的冷卻條件下進(jìn)行吸收,雜質(zhì)被排出,可得高純乙硅烷。

    用途

    1.用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相沉積等方面。在太陽能電池生產(chǎn)中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多,且溫度可降低200~300℃。 在離子注入中,以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強(qiáng),效果明顯好于用其他氣體作離子源。

    2.在半導(dǎo)體工藝中用于外延和擴(kuò)散工藝,也用于太陽能電池和電子照相用的感光鼓。

    3.本品可用于太陽能電池生產(chǎn)、分子束外延和離子注入等技術(shù)。在太陽能電池生產(chǎn)中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多,且溫度可降低200~300℃。在離子注入中,以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強(qiáng),效果明顯好于用其他氣體作離子源。

    安全信息

    危險運(yùn)輸編碼:UN 3161 2.1

    危險品標(biāo)志:易燃 有害

    安全標(biāo)識:S16 S24 S26 S36/S37/S39

    危險標(biāo)識:R17 R42 R20/21 R36/37/38

    文獻(xiàn)

    暫無

    備注

    暫無

    表征圖譜

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